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艾羅德克運動控制技術有限公司（Aerotech）QNP3系列XYZ壓電定位臺是一款結合了亞納米級分辨率、高動態特性和出色的幾何性能的緊湊型三自由度（DoF）定位系統。它們擁有40mmx 40mm的透明孔徑，閉環行程可達100μmx 100μmx 10μm（開環行程為120μmx 120μmx 12μm ）。該設計是光學和掃描探針顯微鏡或其他檢測或制造應用的理想選擇，其中雙面部件需使用三自由度進行操作。
精密平行運動學設計
QNP3壓電定位臺使用優化的FEA精密平行運動學撓曲和計量設計，以確保優異的多軸精度，以及高剛度和較長的設備使用壽命。高剛度和諧振頻率還可帶來更高的加工能力和更快的閉環響應時間。
正在申請專利的這款驅動設計可以最大限度地減少X和Y軸的偏航誤差，同時擁有符合阿貝原理的計量系統。這一設計在整個XY軸行程空間中產生了優異的定位性能。其Z軸致動器和電容傳感器專為垂直方向提供幾何誤差最小，以及符合阿貝原理的反饋而設計。
亞納米級性能
QNP3定位臺擁有閉環或開環反饋。獨特的電容傳感器與計量并聯的設計可直接測量定位托架的輸出，同時擁有亞納米級分辨率，線性誤差優于0.01%，還具有個位數的納米重復性。
超精密控制
當與Aerotech公司Q系列控制器和驅動器結合時，QNP3定位臺展示了其亞納米級定位分辨率和內部定位穩定（抖動）的特性，同時保持較高的定位帶寬。它還擁有高級軟件選項，如動態控制工具箱和運動設計器，可提供各種高效且易于使用的工具，包括迭代學習控制，諧波消除和命令成形功能，從而提供更佳的錯誤跟蹤功能和更快的步驟和定位時間。還可使用OEM驅動器選項。
設計選項
可選的安裝板可直接安裝到英制或公制線路板光學平臺上，還可提供實體平臺。QNP3壓電定位臺還可根據要求定制材料和真空制版。