上海微電子1.1億中標科技部采購光刻機項目

12月25日，中國政府采購網公告顯示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標步進掃描式光刻機項目，設備數量為1臺，中標金額約1.1億元。據此前公告，招標方為科學技術部。

中標（成交）信息顯示，中標貨物名稱為步進掃描式光刻機，貨物型號為SSC800/10，其中“SSC”為首次公開的光刻機型號代號。

據了解，11月7日，中國政府購買服務信息平臺發布《科學技術部zycgr22011903單一來源采購步進掃描式光刻機征求意見公示》。該項目采用單一來源方式采購，預算金額為1.13億元。

在單一來源采購專家論證意見表中提到，步進掃描式光刻機具備高分辨率光學成像能力（分辨率≤110nm）和優異的套刻精度（≤15nm），可支持微米乃至亞微米級結構的高均勻性、高穩定性加工。

公開資料顯示，上海微電子裝備有限公司隸屬上海電氣集團，2009年首臺先進封裝光刻機產品SSB500/10A交付用戶，2018年公司宣布90nm光刻機項目通過正式驗收，2021年9月，公司宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機，主要應用于高密度異構集成領域。2022年2月，上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式，標志著中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機正式交付客戶。今年5月，上海微電子已經官宣實現90nm ArF光刻機的量產。