西門子收購 Canopus：引入“AI 顯微鏡”技術，讓造芯更準、更快

 2 月 5 日消息，西門子（Siemens）昨日（2 月 4 日）發布公告，宣布收購法國初創公司 Canopus AI，通過引入計算量測（Computational Metrology）和檢測技術，強化其 Calibre 晶圓制造軟件生態。

據西門子透露，該筆交易實際上已于 2026 年 1 月 12 日完成交割。盡管官方未披露具體金額，但業界估算交易額約在 1.5 億至 3 億歐元之間。

Canopus AI 是一家總部位于法國格勒諾布爾的創新企業，成立于 2021 年，專注于利用機器學習和人工智能技術優化半導體量測與檢測流程。

Canopus AI 面向量測與檢測領域的機器學習及人工智能技術，通過量測邊緣放置誤差（EPE），優化晶圓制造仿真模型

Canopus AI 在行業內開創性地提出了“Metrospection”理念。該理念旨在搭建一個全面的軟件框架，利用 AI 技術打通傳統晶圓量測與檢測之間的技術壁壘，通過其特有的 Mapbox 類查看器，用戶可以交互式審查關鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）圖像及大批量制造數據。

面對器件尺寸微縮和產能擴大的雙重挑戰，大規模量測已成為保障先進制程良率的關鍵。西門子計劃將 Canopus AI 的技術與其 Calibre 產品組合中的“計算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI 網頁版 Mapbox 類查看器，支持關鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）圖像、HVM（大批量制造）Oasis 及計量檢測數據的交互審查。

通過這種互補，西門子將提供一套具備差異化的端到端 EDA 解決方案。這不僅能提升晶圓圖形成像的保真度，還能通過精準測量邊緣放置誤差（EPE），幫助制造商實現亞納米級的工藝控制。

西門子數字化工業軟件總裁 Tony Hemmelgarn 強調，此次收購彰顯了西門子用工業 AI 解決制造挑戰的決心。整合后的技術將助力半導體企業縮短先進制程節點的量產周期，并加速良率爬升。