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在半導體芯片的精密制造場域里毫厘溫差,足以定義成敗
每一次沉積、每一道蝕刻
溫度曲線的輕微擾動,都可能影響最終良率與品質
誰來為高端制造,筑牢“溫度”這一生命線?
今日,答案揭曉——
憑借對精密制造場景的深刻理解與技術積淀
臺達正式推出高精度模塊化溫控器DTDM系列

直接痛點
守護半導體制造“溫度生命線”技術
滿足多區加熱需求
通過靈活構建多達32路的獨立溫控單元的獨特優勢,為半導體加工解決從緊湊型設備到大型多區加熱系統的全方位需求。
溫控精準可靠
集前饋補償、PID串級、14點溫度校正于一體,不僅能快速響應,更能預見干擾,實現真正的穩定與精準。
智能可靠守護
一對多控制:在需要多點控溫的場景,僅通過單一測溫點的溫度信息,即可以自訂比例的方式實現多通道的加熱控制輸出,大幅提升效益。
輸入冗余切換:傳感器故障瞬間無擾切換,保障生產零中斷。
多通道溫差監控:實時比對,異常溫差即刻預警,確保工藝均勻性。
無縫數字集成
內置狀態數據庫與邏輯運算能力,是連接設備層與信息層的智能節點,讓數據流動更順暢。

