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榮格工業-圣德科

臺達高精度模塊化溫控器DTDM系列耀世登場

來源:臺達 發布時間:2026-03-06 413
智能制造傳感器機器視覺運動控制軟件及平臺工業互聯智能加工設備智能制造解決方案 產業動態
臺達推出高精度模塊化溫控器DTDM系列,聚焦半導體制造場景的溫控精準性需求。

 

在半導體芯片的精密制造場域里毫厘溫差,足以定義成敗

每一次沉積、每一道蝕刻

溫度曲線的輕微擾動,都可能影響最終良率與品質

誰來為高端制造,筑牢“溫度”這一生命線?

今日,答案揭曉——

 

憑借對精密制造場景的深刻理解與技術積淀

臺達正式推出高精度模塊化溫控器DTDM系列

 

 

直接痛點

守護半導體制造“溫度生命線”技術

 

滿足多區加熱需求

通過靈活構建多達32路的獨立溫控單元的獨特優勢,為半導體加工解決從緊湊型設備到大型多區加熱系統的全方位需求。

 

溫控精準可靠

集前饋補償、PID串級、14點溫度校正于一體,不僅能快速響應,更能預見干擾,實現真正的穩定與精準。

 

智能可靠守護

一對多控制:在需要多點控溫的場景,僅通過單一測溫點的溫度信息,即可以自訂比例的方式實現多通道的加熱控制輸出,大幅提升效益。

 

輸入冗余切換:傳感器故障瞬間無擾切換,保障生產零中斷。

多通道溫差監控:實時比對,異常溫差即刻預警,確保工藝均勻性。

 

無縫數字集成

內置狀態數據庫與邏輯運算能力,是連接設備層與信息層的智能節點,讓數據流動更順暢。

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