駕馭毫厘溫差：臺達模塊化溫控器DTDM系列以卓越控溫能力賦能半導體高端制造

在全球半導體產業鏈重構、國產替代加速推進的關鍵時期，精密控溫作為半導體加工的“生命線”，直接決定芯片良率與設備穩定性。臺達作為全球工業自動化解決方案領導廠商，深耕行業50余年，在半導體制造、新能源、精密電子等高端制造領域，以高效可靠的解決方案助力客戶實現智能化轉型與可持續發展。

公司最新推出的高精度模塊化溫度控制器DTDM系列，針對精密加工控溫痛點打造，為半導體等高端制造行業提供穩定高效的控溫支撐，助力企業突破技術瓶頸。

Part 1

模塊化設計，解鎖精密控溫新高度

臺達DTDM系列高精度模塊化溫度控制器，專為此類精密制程量身打造。其采用高度集成的模塊化硬件架構，且具備出色的彈性擴展能力，支持高達32組PID控制通道和128個輸出輸入，單一DTDM群組最多可串接8臺測量機和8臺I/O擴展模塊；同時其薄型精巧化設計可實現彈性配置，有效減少設備控制柜安裝空間，適配高集成度半導體設備。

核心性能上，可實現±0.1%以內高精度溫度量測，搭配10ms高速采樣周期，實時捕捉溫度細微變化，筑牢精密控溫基礎。

該系列產品原生支持EtherCAT高速通信協議，結合總線數據匯集功能，能夠將溫控模塊的內部狀態與工藝數據實時、高速上傳至上位系統，極大方便了設備擴展與全廠集成，為構建智能化、網絡化的現代生產線奠定了堅實根基。

DTDM系列能夠全面滿足復雜精密溫控工藝的需求，尤其適用于半導體晶圓加工設備，如化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、氧化擴散爐、蝕刻機、原子層沉積系統（ALD） 等，同時也可廣泛應用于精密電子制造、高端實驗儀器等多個需要嚴格溫控的領域。

Part 2

直擊行業痛點，DTDM的核心解決方案

行業數據顯示，2024年中國半導體設備市場規模已高達318億美元（數據來源：SEMI），持續領跑全球市場。在此背景下，精密溫控系統的性能與國產化水平，直接關系到芯片制造的良率保障與供應鏈安全。臺達DTDM系列憑借其核心技術優勢，精準應對以下行業痛點，提供覆蓋全流程的溫控解決方案：

• 應對溫度波動，提升良率：半導體加工對溫度穩定性要求極為嚴苛，微小波動即可能導致芯片性能偏差。DTDM憑借±0.1%的高精度測量、14點溫度校正折線表及前饋控制算法，有效補償傳感器非線性誤差，預先抑制已知工藝擾動，將溫度波動嚴格鎖定在工藝窗口內，顯著提升晶圓加工的一致性與良率。

• 應對特定場景，串級控制提升控溫精度：加熱系統的熱慣性易導致溫度響應遲緩與超調，影響如摻雜濃度均勻性等關鍵工藝結果。針對于此，DTDM采用PID串級控制，通過內外環協同運算大幅縮短調節時間，結合10ms高速采樣，實時跟蹤溫度變化，快速消除滯后影響，確保升溫曲線平穩精準，保障摻雜濃度等關鍵工藝參數的均勻性。

• 簡化多區控溫，降低成本：針對多加熱區設備（如大型陶瓷加熱板）面臨的協同控溫復雜、傳感器布設成本高昂的難題，DTDM系列展現出卓越的靈活性。其核心在于高度彈性的模塊化設計：單系統可支持多達32組獨立PID控制通道與128個I/O點，一個控制群組最多可串接8臺測量機與8臺I/O擴展模塊，通道配置可自由規劃。其獨有的一對多控制功能，允許單一傳感器按比例控制多個加熱輸出，大幅減少傳感器數量與安裝成本。配合多通道PV比較警報，實時監控各區間溫差，確保大面積加熱的均勻性與穩定性。

• 保障測量可靠，應對故障：針對傳感器在寬溫區測量不準或突發故障的風險，DTDM具備輸入切換與冗余功能。它可在-200°C至1800°C的寬廣范圍內自動選擇最佳量程傳感器，并在單一傳感器故障時無擾切換至備用通道，徹底杜絕因測溫失效導致的控溫偏差與設備損毀。

• 加速系統集成，推動智能升級：為破解系統集成復雜、調試周期長的痛點，DTDM原生集成EtherCAT高速網絡，通過雙端口通信模塊可實現無縫串聯組網，無需額外交換機。同時，內置的狀態數據庫可實時獲取PV、SV、MV、DO等關鍵狀態信息，并支持選擇其中4種數據在控制器本地進行預定義邏輯運算與輸出，既提升了實時響應速度，也顯著降低了上位機運算負載，從而大幅縮短系統調試與集成周期。

此外，相比進口設備常見的交付周期長、成本高、本地適配性弱等問題，DTDM系列充分發揮國產化與模塊化定制優勢，可根據國內客戶的特定需求快速靈活配置，在保證性能的前提下，實現更短交付周期、更優成本控制與更佳適用性，為半導體設備國產化替代提供堅實助力。

Part 3

以精密控制，定義制造新標桿

臺達高精度模塊化溫度控制器DTDM系列，不僅是一個溫度控制產品，更是一套面向未來智能制造的精密溫控系統解決方案。

它從測量精度、控制算法、系統架構到數據交互的每一個環節都精益求精，直指高端制造業在提升良率、保證一致性、實現柔性生產與數字化管理過程中的核心訴求。在半導體技術不斷逼近物理極限、先進制造日新月異的今天，臺達DTDM系列以卓越的精密控溫能力賦能半導體高端制造行業。