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新品首發|ATH 4506 M 渦輪分子真空泵

來源:普發真空 發布時間:2026-03-13 428
汽車制造自動駕駛&車聯網智能制造電子芯片半導體工藝設備半導體封裝設備半導體測試設備電子制造服務(EMS)/系統集成 產業動態
ATH 4506 M渦輪分子泵搭載集成控制器實現即插即用,提供非加熱與TMS溫控(最高90°C)雙版本適配潔凈涂層及半導體腐蝕性工藝

 

即插即用更便捷 高效節能雙在線

ATH 4506 M 搭載集成控制器,無需額外配置獨立外部控制單元,大幅簡化安裝流程,同時節省系統設置空間,讓設備快速融入現有生產線。

 

工藝適配溫控系統 精準護航穩定生產

不同工藝對設備運行溫度的需求各不相同,為此 ATH 4506 M 量身打造兩種版本,精準匹配各類需求:

 

•非加熱版本:適配潔凈、無腐蝕性的應用場景,無需額外加熱,如大面積涂層工藝。

•TMS 溫度管理版本:最高溫度可達 90°C,適用于半導體制造及其他腐蝕性工藝,適度加熱有效防止冷凝和顆粒生成。

 

通過匹配工藝的溫度需求,ATH 4506 M能有效減少泵內冷凝和顆粒堆積,降低部件磨損,避免意外停機,從而提高設備可靠性和產品質量,幫助企業降低成本、增強競爭力。

 

狀態檢測與數字化集成 運維管理更省心

ATH 4506 M 內置傳感器,可實時監測溫度、轉速、吹掃狀態和運行情況。操作員能隨時掌握設備狀態,及早發現異常并處理,避免意外停機,為預測性維護提供支持。

 

同時,它支持物聯網(IoT)功能,可接入數字監控系統,輕松集成到自動化生產線,減少人工維護,提升管理效率。

 

此外,ATH 4506 M 擁有 IP54 防護等級,防塵、防濺水,能適應惡劣工業環境,延長設備使用壽命,保障生產穩定運行。

 

最后,一年一度的行業盛會 SEMICON China 2026 倒計時開啟!今年,我們帶著全新的 ATH 4506 M 渦輪分子泵與您相約上海,歡迎大家蒞臨參觀。

展會預告 SEMICON China 2026

 

時間:2026 年 3 月 25 日 – 27 日

地點:上海新國際博覽中心

展位:N3 - 3000

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