半導體AMHS天車定位：從條形碼到二維碼，PXV定位系統解鎖智造精準密碼

在半導體制造的精密世界里，微米級的精度與毫秒級的效率，決定著芯片的性能與產能。智能傳感作為 “工業之眼”，深度融入全流程，為關鍵環節提供精準感知與可靠控制。

本期，我們聚焦半導體工廠 “物流生命線”——AMHS 天車系統，解讀倍加福如何以創新視覺定位技術，破解高精度、高可靠定位難題。后續我們將沿半導體全工藝鏈持續更新，帶來更多智能制造傳感方案，展現倍加福如何以前沿技術，賦能半導體智造升級。

應用挑戰

在智能化、高效率的半導體工廠，AMHS（自動物料搬運系統）貫穿于晶圓制造的全流程，其穩定與高效直接決定了整條產線的命脈。

面對先進制程對生產效率與良率的高標準追求，作為AMHS核心執行單元的OHT天車，如何在高速穿梭中實現“零誤差”的準確定位？這背后，一場從“條形碼”到“二維碼”的技術跨越正在發生。

難點及目標

早期自動化中，條形碼因成本低、應用廣被廣泛使用，但在半導體高精度制造場景下短板突出，一維碼容錯性差，易因污損、磨損導致定位失效，且信息容量有限，難以滿足復雜工況的冗余校驗需求。

如今，基于二維碼（特別是Data Matrix碼）的視覺定位技術，正在成為半導體AMHS行業的新標桿。倍加福PXV視覺定位系統采用的DM位置碼帶，具備強大冗余糾錯能力，即便碼標污損、遮擋或損壞，仍可穩定解碼，有效避免誤讀錯讀，定位更可靠。

解決方案

針對 OHT 小車在物料搬運中對定位穩定、低延遲、高冗余的嚴苛要求，倍加福 PXV 視覺定位系統提供了成熟可靠的解決方案。

解碼更可靠：看得清，更看得 “懂”

PXV 視覺讀碼頭搭載高性能 CMOS 全局圖像傳感器，可在高速運動中清晰捕捉無畸變圖像。讀頭單次成像可同時識別多達 5 個 DM 碼，僅需 1 個即可完成精準定位，多重冗余設計大幅提升系統穩定性。同時，系統可實時輸出讀碼質量狀態，直觀反饋解碼效果，讓運行狀態可監控、可追溯，即便碼帶污損、存在間隙，仍能實現定位不中斷。

在半導體工廠，哪怕是0.1mm的誤差都可能影響良率。倍加福 PXV 憑借硬核性能，適配嚴苛工況：

• 定位精度高：定位最小誤差±0.1mm，最小分辨率0.1mm

• 數據延遲小：可以提供最快10ms的數據更新周期

• 大景深強抗光：標準安裝距離100mm，提供±50mm的景深范圍，并能抵抗高達100,000 Lux的環境光線干擾，無懼復雜光照環境

靈活兼容，面向未來

PXV 支持多種工業總線與接口，可無縫接入各類控制系統。DM 位置碼帶最長可達 100 公里，既能滿足超大晶圓廠現有需求，也為未來產線擴容預留充足空間。

特性一覽

亮點

• 基于視覺的定位解決方案，無接觸無磨損，確保長時間穩定運行

• DM碼先進的冗余特性，提供杰出的冗余和糾錯性能，提升讀碼穩定性

• 定位精度高，分辨率可調

• 具備常見的電氣接口協議，產品線豐富

• 杰出的機械及外觀設計，提升人機交互體驗