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圖片來源 / 豆包
3月25-27日,SEMICON China 2026在上海盛大舉辦。作為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)風(fēng)向標,本屆展會清晰呈現(xiàn):先進封裝已從“補位技術(shù)”躍升為算力競爭核心戰(zhàn)場,在AI大模型、HBM、Chiplet規(guī)?;涞氐尿?qū)動下,2.5D/3D堆疊、混合鍵合、CPO硅光互連、晶圓級封裝成為主流方向。設(shè)備、材料、封測、設(shè)計全鏈條協(xié)同創(chuàng)新,國產(chǎn)設(shè)備從單點突破邁向體系化突圍,全球產(chǎn)業(yè)正以異構(gòu)集成作為核心路徑重構(gòu)先進封裝格局。
Part 1
行業(yè)核心趨勢:先進封裝成為算力時代“必答題”
異構(gòu)集成成為技術(shù)主線。摩爾定律放緩,單芯片微縮逼近物理極限,通過封裝實現(xiàn)性能倍增成為行業(yè)共識。2.5D/3D堆疊、Chiplet芯粒集成、異質(zhì)芯片整合全面走向量產(chǎn),有效提升算力密度、降低功耗、縮短研發(fā)周期,成為高性能計算、AI服務(wù)器、數(shù)據(jù)中心的底層支撐。
HBM與CPO雙輪驅(qū)動封裝升級。HBM封裝成為增長最快賽道,對鍵合精度、散熱能力、互連密度提出更高要求;CPO(共封裝光學(xué))將光引擎與計算芯片集成,突破帶寬瓶頸,成為下一代數(shù)據(jù)中心標配技術(shù),倒逼封裝向更高密度、更低損耗、更高可靠性演進。
車規(guī)與AI雙重標準協(xié)同推進。 先進封裝快速從消費電子向汽車電子滲透,車規(guī)級可靠性(含高溫高濕穩(wěn)定性、長壽命)成為標配。AI芯片則追求極致算力、低時延與高良率,兩類需求共同推動封裝工藝向高密度、高集成、高穩(wěn)健三重目標協(xié)同升級。
設(shè)備投資占比持續(xù)提升。先進封裝技術(shù)壁壘高、設(shè)備投入大,已成為半導(dǎo)體資本開支增長主力。鍵合、沉積、電鍍、清洗、檢測五大環(huán)節(jié)同步擴容,設(shè)備國產(chǎn)化率提升與全球供應(yīng)鏈重構(gòu)并行推進。
Part 2
技術(shù)進展:高密度、高精度、高良率成為核心追求
本屆展會上,全球企業(yè)集中展示新一代封裝工藝,呈現(xiàn)三大技術(shù)特征:
互連微縮化。互連間距持續(xù)降低,混合鍵合進入亞10μm時代,支撐3D堆疊層數(shù)提升。
制程晶圓化。扇出型晶圓級封裝(FOWLP)規(guī)模化應(yīng)用,面板級封裝加速進入產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵期,以更高產(chǎn)能、更低成本打開市場。
前后道融合。前道工藝向后道延伸,晶圓級工藝下沉至封裝段,提升良率與一致性。
在關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域,國內(nèi)外龍頭同臺競技,技術(shù)突破集中落地。北方華創(chuàng)(NAURA)展示了其12英寸高端刻蝕設(shè)備、PVD(物理氣相沉積)設(shè)備以及熱處理設(shè)備的全套解決方案。拓荊科技推出涵蓋熔融鍵合、激光剝離等3D IC系列新產(chǎn)品,產(chǎn)能與良率雙提升,填補國內(nèi)高端鍵合設(shè)備空白;低介電薄膜沉積、PECVD設(shè)備全面覆蓋先進封裝薄膜需求,構(gòu)建一站式工藝能力。盛美上海以行星系列產(chǎn)品覆蓋濕法清洗、電鍍、涂膠顯影全流程,其Ultra ECP電鍍設(shè)備在銅互連、錫銀凸塊電鍍等工藝中實現(xiàn)國產(chǎn)替代,為國內(nèi)封測廠提供了高性價比的選擇。
檢測環(huán)節(jié)同樣關(guān)鍵,中科飛測推出三維凸點與鍵合界面檢測設(shè)備,實現(xiàn)微米級量測;諾信、BTU等在流體點膠、熱制程上持續(xù)優(yōu)化,保障良率與穩(wěn)定性。
此外,國際廠商持續(xù)領(lǐng)跑高端。ASMPT帶來其最新的固晶機與焊線機,特別是面向2.5D/3D封裝的AMICRA®系列高精度固晶設(shè)備,可實現(xiàn)±1微米以內(nèi)的貼裝精度,為Chiplet的精密互連提供設(shè)備保障。Kulicke & Soffa(庫力索法)與BE Semiconductor(BESI)分別在焊線封裝與高精度貼片領(lǐng)域展示了最新技術(shù),滿足從傳統(tǒng)封裝到先進封裝的多樣化需求。
基于SEMICON China 2026參展企業(yè)的產(chǎn)品與技術(shù),榮格電子芯片認為,中國先進封裝設(shè)備已進入規(guī)?;黄破冢尸F(xiàn)四大鮮明特點:
關(guān)鍵環(huán)節(jié)全覆蓋。在清洗、電鍍、沉積、鍵合、涂膠顯影、檢測六大核心設(shè)備領(lǐng)域,國產(chǎn)均實現(xiàn)可供應(yīng),不再依賴單一進口渠道。
從可用邁向好用。國產(chǎn)設(shè)備在穩(wěn)定性、產(chǎn)能、自動化、良率上顯著提升,逐步進入高端產(chǎn)線,從替代低端設(shè)備向切入高端制程推進。
平臺化與系列化。頭部企業(yè)從單機供應(yīng)商轉(zhuǎn)向整線解決方案提供商,提供多工藝組合、跨制程兼容的設(shè)備平臺,適配客戶柔性生產(chǎn)需求。
全球供應(yīng)鏈切入。以盛美上海、拓荊科技為代表,國產(chǎn)設(shè)備批量進入海外OSAT與IDM供應(yīng)鏈,標志技術(shù)與品質(zhì)獲得國際認可。
展望未來,先進封裝已不是“可選項”,而是算力時代的“必答題”。異構(gòu)集成全面普及,Chiplet、2.5D/3D成為高端芯片標配,混合鍵合快速滲透。CPO與HBM同步爆發(fā),帶動封裝設(shè)備、材料、檢測需求持續(xù)高增。國產(chǎn)設(shè)備份額持續(xù)提升,從單點突破到整線替代,支撐中國半導(dǎo)體自主可控。先進封裝將持續(xù)驅(qū)動算力升級,賦能AI與新能源產(chǎn)業(yè)。

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